[17p-P02-1~9] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[17p-P02-6] Improvement of low-temperature precipitation of graphene on SiO₂ /Si substrate using nanodiamond

〇(M2)Shiena Kawahara¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:

semiconductor materials

グラフェン析出成長の低温化ならびに高品質化を目指し、グラフェンの析出成長に与える昇温・降温レートの影響を調べた。