[17p-P02-1~9] 6.5 表面物理・真空

[17p-P02-6] SiO2/Si基板上でのナノダイヤモンドを原料としたグラフェン析出成長の高品質化

〇(M2)河原 詩絵名¹ (1.名城大理工)

キーワード：

半導体材料

グラフェン析出成長の低温化ならびに高品質化を目指し、グラフェンの析出成長に与える昇温・降温レートの影響を調べた。