[17p-P03-1~18] 11 Superconductivity (Poster)

[17p-P03-13] Construction of a monitoring system for ablation plume in the PLD method

〇Ryotaro Matsuda¹, Fumiya Sassa¹, Tatsuya Fujita¹, Noriyuki Taoka¹, Yoshiyuki Seike¹, Tatsuo Mori¹, Yusuke Ichino^1,5, Keiichi Horio^3,5, Ataru Ichinose^4,5, Tomoya Horide^2,5, Kaname Matsumoto^2,5, Yutaka Yoshida^2,5 (1.Aichi Inst. of Tech., 2.Nagoya Univ., 3.Kyushu Inst. of Tech., 4.CRIEPI, 5.JST-CREST)

Keywords:

superconductivity,PLD method,plume image

PLD法で観測されるプルームは、光化学反応や熱励起過程が複雑に関与しており、レーザー光の波長やパワー密度により蒸発過程が異なる。これにより同一の成膜条件においても安定した特性が得られにくいという課題がある。そこで再現性良くYBCO 薄膜の成膜が行えるようにすることを目標として、本研究ではデプスカメラによってプルームの色情報やサイズ情報をリアルタイムで収集する観察システム構築を行った。