[17p-P03-1~18] 11 超伝導（ポスター）

[17p-P03-13] PLD法におけるアブレーションプルームのモニタリングシステムの構築

〇松田 遼太郎¹、佐々 文彌¹、藤田 竜也¹、田岡 紀之¹、清家 善之¹、森 竜雄¹、一野 祐亮^1,5、堀尾 恵一^3,5、一瀬 中^4,5、堀出 朋哉^2,5、松本 要^2,5、吉田 隆^2,5 (1.愛工大、2.名大、3.九工大、4.電中研、5.JST-CREST)

キーワード：

超伝導、PLD法、プルーム画像

PLD法で観測されるプルームは、光化学反応や熱励起過程が複雑に関与しており、レーザー光の波長やパワー密度により蒸発過程が異なる。これにより同一の成膜条件においても安定した特性が得られにくいという課題がある。そこで再現性良くYBCO 薄膜の成膜が行えるようにすることを目標として、本研究ではデプスカメラによってプルームの色情報やサイズ情報をリアルタイムで収集する観察システム構築を行った。