[17p-P03-1~18] 11 Superconductivity (Poster)

[17p-P03-14] Fabrication and evaluation of niobium thin films on R-plane sapphire substrates

〇(D)Tomohiro Hirama¹, Yasushi Ishiguro¹, Takashi Tachiki¹ (1.NDA)

Keywords:

sapphire substrates,niobium thin films

テラヘルツ帯で動作する高出力磁束フロー発振器 (FFO) を実現するために、FFOや高周波回路を構成するNb薄膜の特性向上を目指している。本研究では、800 ℃に加熱したR面サファイア基板上のNb薄膜の結晶成長の詳細を探るために同薄膜を作製し、結晶性および電気特性を評価した。