[17p-P03-1~18] 11 超伝導（ポスター）

[17p-P03-14] R面サファイア基板上のNb薄膜の作製と特性評価

〇(D)平間 友博¹、石黒 康志¹、立木 隆¹ (1.防衛大)

キーワード：

サファイア基板、Nb薄膜

テラヘルツ帯で動作する高出力磁束フロー発振器 (FFO) を実現するために、FFOや高周波回路を構成するNb薄膜の特性向上を目指している。本研究では、800 ℃に加熱したR面サファイア基板上のNb薄膜の結晶成長の詳細を探るために同薄膜を作製し、結晶性および電気特性を評価した。