[17p-P07-1~23] 13.8 Optical properties and light-emitting devices

[17p-P07-5] Optical and Electrical Properties of TiO₂:Sm Thin Films Fabricated in H₂ and O₂ Atmospheres

〇Shinichiro Kaku¹, Mariko Murayama^1,2, Kazuto Miyano¹, Xinwei Zhao¹ (1.Tokyo Univ. of Science, 2.Toyo Univ. Research Institute of Industrial Technology)

Keywords:

Light emission devices,Rare Earth,Oxide Semiconductors

一般的に、TiO₂などのn型酸化物半導体は、酸素欠損によって自由電子が生成される。そのため、TiO₂は酸素欠損を増加させることで、キャリア濃度が増加し、抵抗が減少すると考えられる。一方で、酸素は希土類添加酸化物半導体の発光特性にも重要な役割を果たす。そこで、本研究では、酸素ガス（酸化雰囲気）と水素ガス（還元雰囲気）でTiO₂:Sm薄膜を作成し、発光特性と電気的特性の評価を行った。