[17p-P07-1~23] 13.8 光物性・発光デバイス

[17p-P07-5] H₂及びO₂雰囲気で作成したTiO₂:Sm薄膜の発光と電気的特性の評価

〇加來 慎一郎¹、村山 真理子^1,2、宮野 和人¹、趙 新為¹ (1.東理大理、2.東洋大工技研)

キーワード：

発光デバイス、希土類、酸化物半導体

一般的に、TiO₂などのn型酸化物半導体は、酸素欠損によって自由電子が生成される。そのため、TiO₂は酸素欠損を増加させることで、キャリア濃度が増加し、抵抗が減少すると考えられる。一方で、酸素は希土類添加酸化物半導体の発光特性にも重要な役割を果たす。そこで、本研究では、酸素ガス（酸化雰囲気）と水素ガス（還元雰囲気）でTiO₂:Sm薄膜を作成し、発光特性と電気的特性の評価を行った。