[18a-A34-1~9] CS.5 Code-sharing Session of 3.10 & 3.12

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[18a-A34-7] Lasing operation of etched nanowire integrated III-V silicon hybrid photonic crystals cavities

〇Masato Takiguchi^1,2, Takuro Fujii^1,3, Hisashi Sumikura^1,2, Akihiko Shinya^1,2, Shinji Matsuo^1,3, Masaya Notomi^1,2,4 (1.NTT NPC, 2.NTT BRL, 3.NTT DTL, 4.Tokyo Tech)

Keywords:

photonic crystal,nanowire,cavity

我々はこれまで自己成長InPナノワイヤをSiフォトニック結晶中のトレンチ構造に導入し、レーザ・光スイッチ・受光器を実現したが[1-3]、ワイヤの構造不均一性やトレンチ-ナノワイヤ間のエアギャップによる光閉じ込めの低下が課題であった。今回、我々は矩形断面ナノワイヤをエッチングで作製し、Siフォトニック結晶のトレンチに隙間なく集積した。これにより、光閉じ込めの高いハイブリッドフォトニック結晶共振器を作製し、レーザ発振を確認した。
[1] M. Takiguchi, et.al., APL Photonics, 2, 046106 (2017)
[2] M. Takiguchi, et.al., ACS Photonics, 7, 1016 (2020)
[3] M. Takiguchi, et.al., ACS Photonics, 7, 3467 (2020)