[18a-A37-1~11] 17.2 Graphene

11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)

[18a-A37-10] Development of 15 μm pixel-sized Type--II superlattice/graphene infrared photodetectors

〇Shoichiro Fukushima¹, Masaaki Shimatani¹, Manabu Iwakawa¹, Shinpei Ogawa¹ (1.Mitsubishi Electric Corp.)

Keywords:

graphene,T2SL,infrared

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器の高感度化検討を行ってきた。これまでに、Type-II超格子 (T2SL) 構造上にグラフェン電界効果トランジスタ及びダイオードを形成し、中・長波長赤外光を高感度に検出可能であることを示した。本研究ではイメージセンサ適用に向けた高解像度化、低コスト化を目的として、画素サイズを赤外線イメージセンサで主流となる15 μmまで縮小した検出器について報告する。