[18a-A37-1~11] 17.2 グラフェン

11:30 〜 11:45

[18a-A37-10] 15 μm画素サイズType-II超格子/グラフェン赤外線検出器の開発

〇福島 昌一郎¹、嶋谷 政彰¹、岩川 学¹、小川 新平¹ (1.三菱電機株式会社)

キーワード：

グラフェン、T2SL、赤外

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器の高感度化検討を行ってきた。これまでに、Type-II超格子 (T2SL) 構造上にグラフェン電界効果トランジスタ及びダイオードを形成し、中・長波長赤外光を高感度に検出可能であることを示した。本研究ではイメージセンサ適用に向けた高解像度化、低コスト化を目的として、画素サイズを赤外線イメージセンサで主流となる15 μmまで縮小した検出器について報告する。