[18a-B6-1~10] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[18a-B6-9] Fabrication and characterization of carbon nanotube thin-film transistors with inorganic polymer insulator

〇(M1)Eito Kuromiya¹, Haruki Uchiyama¹, Masahiro Matsunaga², Shunto Arai³, Hiromichi Kataura⁴, Yutaka Ohno^1,2 (1.Nagoya Univ., 2.IMaSS Nagoya Univ., 3.NIMS, 4.AIST)

Keywords:

carbon nanotube thin-film transistor,low-frequency noise,inorganic polymer insulator

低トラップ準位密度の絶縁膜材料として期待される無機ポリマーをゲート絶縁膜に用いてフレキシブル CNT TFT を試作し、低周波雑音を評価した結果について報告する。無機ポリマー絶縁膜を用いた CNT TFT では、高いオン電流と急峻なサブスレッショルドスイングが得られた。また、1/f 雑音については、Al₂O₃絶縁膜を用いた素子と比べて、ノイズ電力密度はおよそ 50 %減少した。