[18a-B6-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

11:15 〜 11:30

[18a-B6-9] 無機ポリマー絶縁膜を有するカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製と評価

〇(M1)黒宮 英斗¹、内山 晴貴¹、松永 正広²、荒井 俊人³、片浦 弘道⁴、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来研、3.物質・材料研究機構、4.産総研)

キーワード：

カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ、低周波雑音、無機ポリマー絶縁膜

低トラップ準位密度の絶縁膜材料として期待される無機ポリマーをゲート絶縁膜に用いてフレキシブル CNT TFT を試作し、低周波雑音を評価した結果について報告する。無機ポリマー絶縁膜を用いた CNT TFT では、高いオン電流と急峻なサブスレッショルドスイングが得られた。また、1/f 雑音については、Al₂O₃絶縁膜を用いた素子と比べて、ノイズ電力密度はおよそ 50 %減少した。