[18a-P04-1~6] 3.12 Semiconductor optical devices

[18a-P04-3] Quality control of ZnO thin film and improvement of photosensitivity of photoconductive UV sensor by pulsed reactive magnetron sputtering operating in the medium-frequency range assisted by electron cyclotron wave resonance

〇Kota Hibino¹, Yuki Maruyama¹, Marilou Raduban^2,4, Jiri Olejnicek³, Kohei Yamanoi², Shingo Ono¹ (1.Nagoya Institute of Technology, 2.Institute of Laser Engineering, Osaka Univ., 3.Czech Academy of Sciences, 4.Massey Univ.)

Keywords:

Wide bandgap semiconductor,Photodetectors,CVD,PVD and sputtering

ZnOは、優れた特性により透明導電膜やUVセンサなどの広い応用があり、その電気伝導性は欠陥量や結晶性に依存するため、それらの制御が重要である。我々は、中周波パルススパッタリングに電子サイクロトロン波共鳴（ECWR）を適用し、ソーダライムガラス基板上に成膜したZnO薄膜の欠陥量を低減できることを確認した。本研究では、ECWRの交流電場強度を調整し、ZnO薄膜の膜質及び電気伝導特性を評価した。