[18a-P04-1~6] 3.12 半導体光デバイス

[18a-P04-3] 電子サイクロトロン波共鳴を適用した中周波パルススパッタリング
によるZnO薄膜の膜質制御及び光伝導型UVセンサの感度向上

〇日比野 孝太¹、丸山 祐樹¹、Raduban Marilou^2,4、Jiří Olejníček³、山ノ井 航平²、小野 晋吾¹ (1.名工大、2.阪大レーザー研、3.Czech Academy of Sciences、4.Massey Univ.)

キーワード：

ワイドバンドギャップ半導体、光検出器、CVD・PVD・スパッタリング

ZnOは、優れた特性により透明導電膜やUVセンサなどの広い応用があり、その電気伝導性は欠陥量や結晶性に依存するため、それらの制御が重要である。我々は、中周波パルススパッタリングに電子サイクロトロン波共鳴（ECWR）を適用し、ソーダライムガラス基板上に成膜したZnO薄膜の欠陥量を低減できることを確認した。本研究では、ECWRの交流電場強度を調整し、ZnO薄膜の膜質及び電気伝導特性を評価した。