[18a-P04-1~6] 3.12 Semiconductor optical devices

[18a-P04-4] Effect of Substrate and Thickness on the Photoconductivity of Nanoparticle Titanium Dioxide Thin Film Vacuum Ultraviolet Photoconductive Detector

〇(M1)Yuki Maruyama¹, Marilou Cadatal-Raduban^2,3, Tomoki Kato¹, Yusuke Horiuchi¹, Jiri Olejnicek⁴, Michal Kohout⁴, Kohei Yamanoi², Shingo Ono¹ (1.Nagoya Institute of Technology, 2.Institute of Laser Engineering, Osaka Univ., 3.Massey Univ., 4.Czech Academy of Sciences)

Keywords:

photodetector,thin film,vacuum ultraviolet

波長100-250 nmの深紫外光や真空紫外光(VUV)は、光化学処理や半導体基板の洗浄など幅広い分野で応用されている。このような短波長領域での技術開発の急速な進展に対応するためには、紫外光検出器の開発が必要不可欠である。本研究では、酸化チタン(TiO₂)薄膜の膜厚および基板の膜質への影響を調査し、この薄膜を用いた光伝導型検出器の光伝導性を向上させたため、これについて報告する。