[18p-A21-1~10] (Open Symposium) The real thrill of production technologies: What can "Applied Physics" do at the manufacturing site?

3:10 PM - 3:50 PM JST(6:10 AM - 6:50 AM UTC)

[18p-A21-4] Green Transition Technologies for Water Use in Semiconductor Manufacturing FAB

〇Hideaki Iino¹ (1.KURITA WATER INDUSTRIES LTD.)

Keywords:

Semiconductor,Ultrapure Water,Facility

本講演では、半導体製造工場に導入される超純水製造システムの現状および最新のグリーン化技術について紹介するとともに、ウェハ洗浄における水および薬品使用の見直しや、CO2排出量の削減に向けた改善案を紹介する。また持続可能な半導体製造に向け、半導体工場全体で連携してグリーン化に取り組む必要性を述べる。