[18p-A21-1~10] 【一般公開】生産技術の醍醐味 ～ モノづくりシステムの現場で応用物理は何ができるか？ ～

15:10 〜 15:50

[18p-A21-4] 半導体工場における水利用のグリーン移行技術

〇飯野 秀章¹ (1.栗田工業株式会社)

キーワード：

半導体、超純水、設備

本講演では、半導体製造工場に導入される超純水製造システムの現状および最新のグリーン化技術について紹介するとともに、ウェハ洗浄における水および薬品使用の見直しや、CO2排出量の削減に向けた改善案を紹介する。また持続可能な半導体製造に向け、半導体工場全体で連携してグリーン化に取り組む必要性を述べる。