[18p-A25-1~16] 3.6 Laser processing

5:00 PM - 5:15 PM JST(8:00 AM - 8:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18p-A25-14] Precision femtosecond laser processing by modulating pulse energy

〇Ryota Hasegawa¹, Junya Hattori¹, Tomohiro Fukui¹, Naohiko Sugita¹, Yusuke Ito¹ (1.Univ. Tokyo)

Keywords:

Femtosecond laser,Laser processing,Micro-drilling

フェムト秒レーザ加工は，硬脆材料の微細加工法として注目されているが，加工時にクラックが発生する課題が存在する．本研究ではパルスエネルギを段階的に変調するマルチステップ加工法により，クラックの抑制を実現した．石英ガラス，SiCへの適用可能性を評価し，ポンプ・プローブ撮像によりクラック抑制メカニズムの考察を行った．また，より多段階のエネルギ変調により電子的ダメージの低減を達成した．