[18p-A25-1~16] 3.6 レーザープロセシング

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[18p-A25-14] パルスエネルギ変調によるフェムト秒レーザ加工の精密化

〇長谷川 亮太¹、服部 隼也¹、福井 智大¹、杉田 直彦¹、伊藤 佑介¹ (1.東大院工)

キーワード：

フェムト秒レーザ、レーザ加工、微細穴あけ加工

フェムト秒レーザ加工は，硬脆材料の微細加工法として注目されているが，加工時にクラックが発生する課題が存在する．本研究ではパルスエネルギを段階的に変調するマルチステップ加工法により，クラックの抑制を実現した．石英ガラス，SiCへの適用可能性を評価し，ポンプ・プローブ撮像によりクラック抑制メカニズムの考察を行った．また，より多段階のエネルギ変調により電子的ダメージの低減を達成した．