[18p-A33-1~19] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[18p-A33-6] Fabrication and optical characterization of SiC nanovoid arrays

〇(M2)Hiroya Maruyama¹, Syunsuke Murai¹, Katsuhisa Tanaka¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

nanoarrays

近年ナノフォトニクスにおいて、高屈折率誘電体ナノ構造に生じるMie共鳴を活用したMietronicsが注目を集めている。これまでSiの吸収波長帯が存在する可視域においては主にTiO₂（n = 2.5）が利用されてきた。3C-SiCはTiO₂よりも屈折率が高く（n = 2.7）、近紫外域を含む広い波長帯でより低い消衰係数を有する。本研究では、この3C-SiC単結晶薄膜を加工しナノボイドアレイを作製した。この構造について光学特性評価を行い、強い光閉じ込め効果を有することを確認した。