[18p-A33-1~19] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学

14:15 〜 14:30

[18p-A33-6] SiCナノボイドアレイの作製と光学特性評価

〇(M2)丸山 紘矢¹、村井 俊介¹、田中 勝久¹ (1.京大院工)

キーワード：

ナノアレイ

近年ナノフォトニクスにおいて、高屈折率誘電体ナノ構造に生じるMie共鳴を活用したMietronicsが注目を集めている。これまでSiの吸収波長帯が存在する可視域においては主にTiO₂（n = 2.5）が利用されてきた。3C-SiCはTiO₂よりも屈折率が高く（n = 2.7）、近紫外域を含む広い波長帯でより低い消衰係数を有する。本研究では、この3C-SiC単結晶薄膜を加工しナノボイドアレイを作製した。この構造について光学特性評価を行い、強い光閉じ込め効果を有することを確認した。