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[18p-A37-8]Evaluation of Spatial Distribution of Career Doping in GrapheneUsing Raman Microscope and Machine Learning

〇Riku Gotoh1,2, Asako Yoshinari1,2, Takuya Iwasaki2, Seiya Suzuki2,3,4, Yasunobu Ando6, Tarojiro Matsumura5, Masato Kotsugi1, Naoka Nagamura1,2,4 (1.Tokyo Univ. of Science, 2.NIMS, 3.JAEA, 4.JST PRESTO, 5.AIST, 6.Tokyo Inst. of Tech)

Keywords:

graphene,machine learning,Raman spectroscopy

グラフェンに代表される二次元原子層材料を用いたデバイスでは、表面状態や電極・基板との界面状態がデバイス特性に顕著に影響する為、顕微分光を用いて物性の局所変化を捉えることが重要である。本研究では機械学習ピークフィッティングパッケージ"EMPeaks"のラマン分光データへの応用による、グラフェン電界効果トランジスタ構造中のグラフェンチャネル/金属電極の接触界面近傍における局所性の評価を行った。

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