[18p-B5-1~15] 11.4 Analog applications and their related technologies

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[18p-B5-3] Study on film evaluation by a superconducting resonator with separated hollow structure

〇Yuto Nakajo^1,2, Chiko Otani^2,3, Yuto Kamei², Ryota Ito^2,3, Satoru Mima⁴, Tohru Taino^1,2 (1.Saitama Univ., 2.RAP RIKEN, 3.Tohoku Univ., 4.NICT)

Keywords:

superconducting resonator,film evaluation,microwave device

我々は、誘電体損失低減が見込める超伝導共振器の研究開発を行っている。本研究ではその応用先の一つとして、極低温下での材料評価に着目した。共振器チップとグランドチップの2枚から成る分離型中空構造を提案し、極低温下での材料評価手法を検証した。
本発表では、作製したデバイスやポリイミド薄膜を使用した測定結果について報告する。