[18p-C31-1~19] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

6:00 PM - 6:15 PM JST(9:00 AM - 9:15 AM UTC)

[18p-C31-18] ZnO/ZIF-8 Hybrid Structure for Hight Sensitivity Gas Sensor

〇(M2)Akira Kamase¹, Zang Chuanlai¹, Hiroyasu Yamahara¹, Hitoshi Tabata¹, Sankar Ganesh Ramaraj¹ (1.Tokyo Univ.)

Keywords:

gas sensor,semiconductor,zeolite

酸化物半導体ナノ構造を用いた抵抗変化型ガスセンサの研究は高感度・小型化・低価格の観点から広く行われているが、近年、ゼオライトや金属有機構造体(MOF)の多孔質材料とのハイブリッド構造によるセンサ感度やガス選択性の改善が報告されている。本研究では酸化物半導体ZnOナノ構造表面にzeolite imidazolate frameworks-8 (ZIF-8)を自己成長させたZnO/ZIF-8ハイブリッド構造ガスセンサを開発し、ZIF-8によるセンサ感度の向上を目的としている。