[18p-C31-1~19] 12.7 医用工学・バイオチップ

18:00 〜 18:15

[18p-C31-18] 高感度ガスセンサに向けた ZnO/ZIF-8 ハイブリッド構造

〇(M2)釜瀬 聡¹、Chuanlai Zang¹、山原 弘靖¹、田畑 仁¹、Ramaraj Sankar Ganesh¹ (1.東大院工)

キーワード：

ガスセンサ、半導体、ゼオライト

酸化物半導体ナノ構造を用いた抵抗変化型ガスセンサの研究は高感度・小型化・低価格の観点から広く行われているが、近年、ゼオライトや金属有機構造体(MOF)の多孔質材料とのハイブリッド構造によるセンサ感度やガス選択性の改善が報告されている。本研究では酸化物半導体ZnOナノ構造表面にzeolite imidazolate frameworks-8 (ZIF-8)を自己成長させたZnO/ZIF-8ハイブリッド構造ガスセンサを開発し、ZIF-8によるセンサ感度の向上を目的としている。