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[18p-P01-6]Development of a Charge Capture Level Evaluation System Using Photo-Excitation and evaluation of CVD diamond single crystals

〇Masaki Takahashi1, Junichi Kaneko1, Kengo Oda1, Yuto Akashi1, Naohisa Hoshikawa2, Hitoshi Umezawa3 (1.HOKKAIDO Univ., 2.ODD, 3.AIST)

Keywords:

photo excitation

I-V測定法に基づくダイヤモンドの光励起電流電流による電荷捕獲準位測定装置を試作し、化学気相合成(CVD)法により育成したダイヤモンド単結晶に対する評価を行った。
正孔に対して1.7eV付近から光励起電流が計測されピークを形成した。しかし電子に対してはそのようなピークは確認されなかった。
この結果にはよい再現性があり、実験事実から正孔でのピークは表面近傍で電子が捕獲された影響ではないとの結論に至った。

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