[18p-P01-1~43] 2 放射線（ポスター）

[18p-P01-6] 光励起法をもちいた電荷捕獲準位評価装置の開発とCVDダイヤモンド単結晶に対する評価の試み

〇高橋 正樹¹、金子 純一¹、織田 堅吾¹、明石 悠宇斗¹、星川 尚久²、梅沢 仁³ (1.北大院工、2.大熊ダイヤモンドデバイス、3.産総研)

キーワード：

光励起電流

I-V測定法に基づくダイヤモンドの光励起電流電流による電荷捕獲準位測定装置を試作し、化学気相合成(CVD)法により育成したダイヤモンド単結晶に対する評価を行った。
正孔に対して1.7eV付近から光励起電流が計測されピークを形成した。しかし電子に対してはそのようなピークは確認されなかった。
この結果にはよい再現性があり、実験事実から正孔でのピークは表面近傍で電子が捕獲された影響ではないとの結論に至った。