[18p-P02-1~30] 6.3 Oxide electronics

[18p-P02-9] Search for transparent electrode material for deep-ultraviolet-emitting devices

〇Masaki Yasuda¹, Daichi Takeya¹, Jumpei Kamikawa¹, Nobuhisa Fujima¹, Hiroko Kominami¹, Kazuhiko Hara¹ (1.Shizuoka University)

Keywords:

Transparent electrode,UV emitting device,The first principle calculation

深紫外発光デバイス用の透明導電膜の材料探索および薄膜の特性について評価を行った。酸化スズ系、酸化インジウム系を基本母体とした混晶について第一原理計算により禁制帯幅の推定を試みた。その結果、酸化インジウム系混晶において我々が目的とする250nmの紫外光を透過できる可能性について得られた。その組成について薄膜化を試み、透過特性及び電気的特性について検討を行った。