[18p-P02-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-P02-9] 深紫外発光デバイス用透明電極材料の探索

〇保田 将希¹、竹舎 大智¹、上川 純平¹、藤間 信久¹、小南 裕子¹、原 和彦¹ (1.静岡大)

キーワード：

透明電極、紫外発光デバイス、第一原理計算

深紫外発光デバイス用の透明導電膜の材料探索および薄膜の特性について評価を行った。酸化スズ系、酸化インジウム系を基本母体とした混晶について第一原理計算により禁制帯幅の推定を試みた。その結果、酸化インジウム系混晶において我々が目的とする250nmの紫外光を透過できる可能性について得られた。その組成について薄膜化を試み、透過特性及び電気的特性について検討を行った。