[18p-P04-1~15] 12.2 Characterization and Materials Physics

[18p-P04-10] 1,2-Epoxyalkane SAM Formed on Si(111) Surface by gas-phase method

〇(M2)Masayuki Goda¹, Toru Utsunomiya¹, Takashi Ichii¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

Self-assembled monolayer

自己集積化単分子膜 (SAM) で材料を被膜することでその表面の化学的機能をデザインすることが可能であり，当研究室では液相法による水素終端化Si(111)表面へのエポキシアルカンSAM形成を報告してきた．一方，気相法によるSAM形成プロセスは液相法に比べて，廃液が少ない点や他のドライプロセスへの組み込みが容易である点などで優れる．そこで本稿では，気相法による水素終端化Si(111)表面へのエポキシアルカンSAM形成について報告する．