講演情報
[18p-P04-10]気相法によるSi(111)表面へのエポキシアルカンSAM形成
〇(M2)郷田 雅幸1、宇都宮 徹1、一井 崇1 (1.京大院工)
キーワード：
自己集積化単分子膜
自己集積化単分子膜 (SAM) で材料を被膜することでその表面の化学的機能をデザインすることが可能であり，当研究室では液相法による水素終端化Si(111)表面へのエポキシアルカンSAM形成を報告してきた．一方，気相法によるSAM形成プロセスは液相法に比べて，廃液が少ない点や他のドライプロセスへの組み込みが容易である点などで優れる．そこで本稿では，気相法による水素終端化Si(111)表面へのエポキシアルカンSAM形成について報告する．
コメント
コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン