[18p-P04-1~15] 12.2 Characterization and Materials Physics

[18p-P04-5] Investigation of Automated Analysis in Photoelectron Yield Spectroscopy
-Analysis of N and P type Si spectra-

〇Shinjiro Yagyu¹, Takahiro Nagata¹, Yubin Liu², Yoshiyuki Nakajima² (1.NIMS, 2.Rikenkeiki)

Keywords:

Automatic Analysis,PYS,Segment Regression

光電子収量分光(PYS)は、金属や半導体の仕事関数やHOMOレベルを解析できる技術である。しかし、手動解析には時間がかかり、精度が悪い。そこで、自動解析手法を開発した。1/n-Power Plot法はべき乗数を用いた自動解析であり、PW法はセグメント回帰を利用する。測定したSi試料のデータを自動解析すると、手動解析と比べて大幅に時間が短縮され、精度も向上する。特にPW法はスペクトルの変化点を正確に検出できる。