[18p-P04-1~15] 12.2 評価・基礎物性

[18p-P04-5] 光電子収量分光における自動解析の検討
‐N・P型Siスペクトルの解析-

〇柳生 進二郎¹、長田 貴弘¹、劉 雨彬²、中島 嘉之² (1.NIMS、2.理研計器)

キーワード：

自動解析、PYS、セグメント回帰

光電子収量分光(PYS)は、金属や半導体の仕事関数やHOMOレベルを解析できる技術である。しかし、手動解析には時間がかかり、精度が悪い。そこで、自動解析手法を開発した。1/n-Power Plot法はべき乗数を用いた自動解析であり、PW法はセグメント回帰を利用する。測定したSi試料のデータを自動解析すると、手動解析と比べて大幅に時間が短縮され、精度も向上する。特にPW法はスペクトルの変化点を正確に検出できる。