[18p-P07-1~8] 6.1 Ferroelectric thin films

[18p-P07-1] Fabrication of epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 thin films by Multi-functional® interlayer

〇Masashi Seki¹, Ken Kijima¹, Hidemichi Furihata¹, Kento Nakao¹ (1.Gaianixx Inc.)

Keywords:

epitaxially grown,Single crystal thin films

当社のコアテクノロジーである「マルテンサイト・エピタキシー(ME)」は、従来困難とされてきた多層での高品質単結晶化を「多能性®中間膜」と「動的格子マッチング」で可能とし、分野を問わず既存デバイスの飛躍的な革新に貢献できると考えている。多能性®中間膜上に形成したME-PZTは単結晶化を実現し、残留分極は39.1µC/cm2まで向上し自発分極を確認した。ME-PZTは多結晶では実現できなかった特徴を有しており、新しい応用デバイスが期待できる。