[18p-P07-1~8] 6.1 Ferroelectric thin films

[18p-P07-8] LiNbO₃ pyroelectric nano-thin layers for uncooled graphene infrared photodetectors

〇Shoichiro Fukushima¹, Masaaki Shimatani¹, Manabu Iwakawa¹, Shinpei Ogawa¹ (1.Mitsubishi Electric Corp.)

Keywords:

LiNbO3,pyroelectric,ALD

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器を開発しており、冷却型グラフェン赤外イメージセンサを世界に先駆けて報告した。また、前回までの応用物理学会において、室温で動作可能なグラフェンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 非冷却赤外線検出器について報告した。本研究では、グラフェン非冷却赤外線検出器の高感度化に用いる光増感材として適用可能な、赤外線入射に対して焦電性を有するニオブ酸リチウム (LiNbO₃) ナノ薄膜について報告する。