[18p-P07-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[18p-P07-8] 非冷却グラフェン赤外線検出器への適用に向けたLiNbO₃焦電体ナノ薄膜の開発

〇福島 昌一郎¹、嶋谷 政彰¹、岩川 学¹、小川 新平¹ (1.三菱電機株式会社)

キーワード：

ニオブ酸リチウム、焦電体、原子層堆積

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器を開発しており、冷却型グラフェン赤外イメージセンサを世界に先駆けて報告した。また、前回までの応用物理学会において、室温で動作可能なグラフェンMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 非冷却赤外線検出器について報告した。本研究では、グラフェン非冷却赤外線検出器の高感度化に用いる光増感材として適用可能な、赤外線入射に対して焦電性を有するニオブ酸リチウム (LiNbO₃) ナノ薄膜について報告する。