[19a-B3-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[19a-B3-4] Synthesis and Electrical Characteristics of Nitrogen-nano-doped Diamond-like Carbon Films

〇(B)Hiroya Noda^1,2, Mahiro Koga¹, Haruhiro Naito¹, Keisuke Yamamoto², Masanori Shinohara³, Susumu Takabayashi¹ (1.NIT, Ariake College, 2.Kyushu Univ., 3.Fukuoka Univ.)

Keywords:

diamond-like carbon (DLC),photoemission-assisted plasma

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、sp²炭素、sp³炭素、および水素で構成されるアモルファス材料である。我々はこれまで、独自の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いてDLC薄膜を合成してきた。PA-PECVDではα作用が支配するタウンゼント放電プラズマを活性化でき、従来のタウンゼント放電電流に比較して約10,000倍の大きさが得られるため、nm/min.オーダーの精密で実用的な成膜が可能となる。これまで我々はPATDを利用して、Si基板上に窒素をサンドイッチ状にドーピングした複合膜の作製に成功した。その比誘電率は極値をもたらすことが分かった。本発表では、窒素の影響をより詳細に調べるために、窒素ドープ層のみの膜を成膜し、その構造と電気特性の評価を行う。