[19a-B3-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[19a-B3-4] 窒素ナノドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の合成と電気特性

〇(B)野田 浩矢^1,2、古賀 万尋¹、内藤 陽大¹、山本 圭介²、篠原 正典³、鷹林 将¹ (1.有明高専、2.九大、3.福岡大)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン (DLC)、光電子制御プラズマ

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、sp²炭素、sp³炭素、および水素で構成されるアモルファス材料である。我々はこれまで、独自の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いてDLC薄膜を合成してきた。PA-PECVDではα作用が支配するタウンゼント放電プラズマを活性化でき、従来のタウンゼント放電電流に比較して約10,000倍の大きさが得られるため、nm/min.オーダーの精密で実用的な成膜が可能となる。これまで我々はPATDを利用して、Si基板上に窒素をサンドイッチ状にドーピングした複合膜の作製に成功した。その比誘電率は極値をもたらすことが分かった。本発表では、窒素の影響をより詳細に調べるために、窒素ドープ層のみの膜を成膜し、その構造と電気特性の評価を行う。