[19a-B3-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[19a-B3-5] Synthesis and Electrical Characteristics of Oxygen-nano-doped Diamond-like Carbon Films

〇(B)Mahiro Koga¹, Hiroya Noda^1,2, Haruhiro Naito¹, Keusuke Yamamoto², Masanori Shinohara³, Susumu Takabayashi¹ (1.NIT, Ariake College, 2.Kyushu Univ., 3.Fukuoka Univ.)

Keywords:

diamond-like carbon (DLC),photoemission-assisted plasma

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、sp²炭素、sp³炭素、および水素で構成されるアモルファス材料である。我々はこれまで、独自の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いてDLC薄膜を合成してきた。PA-PECVDではα作用が支配するタウンゼント放電プラズマを活性化でき、これを光電子制御タウンゼント放電(PATD)と呼んでいる。これまで我々はPATDを利用して、Si基板上に二酸化炭素をドーパントとして酸素をサンドイッチ状にドーピングした複合膜の作製に成功した。この複合膜の絶縁破壊電界はSiO₂の値(10 MV/cm)を超える非常に絶縁性の大きいものとなった。本発表では、酸素の影響をより詳細に調べるために、酸素ドープ層のみの膜を成膜し、その薄膜構造と電気特性の評価を行う。