[19a-B3-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[19a-B3-5] 酸素ナノドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の合成と電気特性

〇(B)古賀 万尋¹、野田 浩矢^1,2、内藤 陽大¹、山本 圭介²、篠原 正典³、鷹林 将¹ (1.有明高専、2.九大、3.福岡大)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン (DLC)、光電子制御プラズマ

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、sp²炭素、sp³炭素、および水素で構成されるアモルファス材料である。我々はこれまで、独自の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いてDLC薄膜を合成してきた。PA-PECVDではα作用が支配するタウンゼント放電プラズマを活性化でき、これを光電子制御タウンゼント放電(PATD)と呼んでいる。これまで我々はPATDを利用して、Si基板上に二酸化炭素をドーパントとして酸素をサンドイッチ状にドーピングした複合膜の作製に成功した。この複合膜の絶縁破壊電界はSiO₂の値(10 MV/cm)を超える非常に絶縁性の大きいものとなった。本発表では、酸素の影響をより詳細に調べるために、酸素ドープ層のみの膜を成膜し、その薄膜構造と電気特性の評価を行う。