[19a-B3-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[19a-B3-6] Effects of Oxygen Doping on the Properties of Diamond-Like Carbon Films Doped with Silicon and Nitrogen

〇Yuya Yamazaki¹, Suzuki Yushi¹, Kobayashi Yasuyuki¹, Nakazawa Hideki¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:

diamond-like carbon

プラズマCVD法によりシリコン、窒素および酸素添加DLC膜(Si-N-O-DLC)を作製し、作製時のCO₂流量比[CO₂/(CO₂+CH₄)]がSi-N-O-DLCの膜特性に及ぼす影響について調べた。ラマンスペクトル解析から、CO₂流量比の増加に伴い、sp²炭素クラスターの形成が促進されることが示唆された。また臨界荷重は増加し、内部応力は減少した。さらに、摩擦係数は0.05以下に減少し、比摩耗量は減少した後、徐々に増加した。