[19a-B3-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

10:30 〜 10:45

[19a-B3-6] シリコンおよび窒素添加ダイヤモンドライクカーボン膜特性への 酸素添加効果

〇山崎 雄也¹、鈴木 裕史¹、小林 康之¹、中澤 日出樹¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン

プラズマCVD法によりシリコン、窒素および酸素添加DLC膜(Si-N-O-DLC)を作製し、作製時のCO₂流量比[CO₂/(CO₂+CH₄)]がSi-N-O-DLCの膜特性に及ぼす影響について調べた。ラマンスペクトル解析から、CO₂流量比の増加に伴い、sp²炭素クラスターの形成が促進されることが示唆された。また臨界荷重は増加し、内部応力は減少した。さらに、摩擦係数は0.05以下に減少し、比摩耗量は減少した後、徐々に増加した。