[19a-B3-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[19a-B3-9] Effect of annealing treatment on DLC film formed by intermediate-pressure plasma CVD with high hydrogen dilution

〇Yuga Oda¹, Mizuki Ueno¹, Hiroaki Kakiuchi¹, Hiromasa Ohmi¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:

diamond like carbon,plasma CVD,anneal

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、構造や添加元素により、硬度、電気抵抗率等を制御できるため、広い分野への応用が期待されている。これまでに我々は中圧域のプラズマCVDを用い、高い原料CH₄ガス分圧下においても高水素希釈化することで、DLC膜の高速形成が可能なことを報告してきた。この手法で形成されたDLC膜では、膜中水素が多量に存在すると考えられる。そこで、アニール処理が膜質に及ぼす影響を調べた。