[19a-C32-1~8] CS.12 Code-sharing Session of 12.6 & 12.7

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[19a-C32-3] Prediction of Optimal Structures for High-Sensitivity Si Nanowire Biosensors Using COMSOL Finite Element Analysis

〇Hui Zhang¹, Mayuna Abe¹, Fumiya Osawa¹, Yawei Qiu¹, Noriyasu Ohshima², Taira Kajisa³, Toshiya Sakata⁴, Takashi Izumi⁵, Hayato Sone¹ (1.Gunma Univ. Graduate School of Science and Technology, 2.Gunma Univ. Graduate School of Medicine, 3.SympaFit Inc., 4.The Univ. of Tokyo, 5.Teikyo Heisei Univ.)

Keywords:

Si nanowire biosensor,high sensitivity,Finite Element Analysis

Siナノワイヤ（NW）バイオセンサは、高感度・迅速な生体分子検出による次世代検出技術として注目されている。我々はSiNWを細線化することでセンサの検出感度が向上することを確認した。しかし、SiNW幅の他に不純物濃度や高さも感度に影響している。実験でこれらの要素の相乗効果が感度に与える影響を解明するのは難しいため、本研究ではCOMSOL有限要素解析を用いて、SiNWの構造と内部不純物濃度が検出感度に及ぼす影響を理論的に計算した。