[19a-C32-1~8] CS.12 12.6 ナノバイオテクノロジー、12.7 医用工学・バイオチップのコードシェア

9:45 〜 10:00

[19a-C32-3] COMSOL有限要素解析法を用いた高感度Siナノワイヤバイオセンサの最適な構造の予測

〇張 慧¹、阿部 真優菜¹、大澤 郁弥¹、邱 亜威¹、大嶋 紀安²、加治佐 平³、坂田 利弥⁴、和泉 孝志⁵、曾根 逸人¹ (1.群馬大院理工、2.群馬大院医、3.株式会社SympaFit、4.東京大院工、5.帝京平成大)

キーワード：

Siナノワイヤバイオセンサ、高感度、有限要素解析

Siナノワイヤ（NW）バイオセンサは、高感度・迅速な生体分子検出による次世代検出技術として注目されている。我々はSiNWを細線化することでセンサの検出感度が向上することを確認した。しかし、SiNW幅の他に不純物濃度や高さも感度に影響している。実験でこれらの要素の相乗効果が感度に与える影響を解明するのは難しいため、本研究ではCOMSOL有限要素解析を用いて、SiNWの構造と内部不純物濃度が検出感度に及ぼす影響を理論的に計算した。