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[19p-A33-13]Emission enhancement of ZnO thin films in ultraviolet wavelength region using Mirror on Nano-Hemisphere structures

〇Shogo Tokimori1, Kai Funato1, Tetsuya Matsuyama1, Kenji Wada2, Koichi Okamoto1 (1.Osaka Metro. Univ., 2.OMU-ESCARI)

Keywords:

plasmonics,ZnO,ultraviolet

Auナノ半球上に厚いAl膜を積層したMirror on Nano-Hemisphere(MoNH)構造により,ZnO薄膜からの波長380 nmの発光の増強に成功した.MoNH構造は,従来のNano-Hemisphere on Mirror (NHoM)構造とは異なり発光層上に構造を作製できるため,ZnO薄膜を高温で熱処理することができ,NHoM構造上に載せたZnO薄膜より強いPL強度が得られた.

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