講演情報
[19p-A33-13]Mirror on Nano-Hemisphere 構造による ZnO 薄膜の紫外域発光増強
〇時盛 将吾1、舩戸 魁1、松山 哲也1、和田 健司2、岡本 晃一1 (1.阪公大工、2.阪公大研究推進)
キーワード：
プラズモニクス、ZnO、紫外
Auナノ半球上に厚いAl膜を積層したMirror on Nano-Hemisphere（MoNH）構造により，ZnO薄膜からの波長380 nmの発光の増強に成功した．MoNH構造は，従来のNano-Hemisphere on Mirror (NHoM)構造とは異なり発光層上に構造を作製できるため，ZnO薄膜を高温で熱処理することができ，NHoM構造上に載せたZnO薄膜より強いPL強度が得られた．
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