[19p-A33-1~18] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)

[19p-A33-5] Anti-reflective InP metasurfaces operating at telecom wavelengths

〇Masashi Miyata¹, Ikue Hiraoka^1,2, Yuki Yamada^1,2, Fumito Nakajima^1,2, Toshikazu Hashimoto¹ (1.NTT Device Technology Labs., 2.NTT Device Innovation Center)

Keywords:

optical metasurface,optical communication,semiconductor

光波面制御機能を有する光メタサーフェスは，光通信デバイスとの集積を念頭に置くと，InP等の半導体基板上に直接形成されることが望ましい．一方，半導体は高い屈折率をもつため，空間（Air等）との屈折率差に起因する強い光反射が懸念となる．そこで我々は，構造パターン全面での反射抑制のため，メタ原子の凸面と基板面の両方に反射防止層を備えた構成を提案する．今回，シミュレーションによりその効果を検証したので報告する．