講演情報
[19p-A33-5]光通信波長帯InPメタサーフェスにおける反射防止層の検討
〇宮田 将司1、平岡 郁恵1,2、山田 友輝1,2、中島 史人1,2、橋本 俊和1 (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTTデバイスイノベーションセンタ)
キーワード：
光メタサーフェス、光通信、半導体
光波面制御機能を有する光メタサーフェスは，光通信デバイスとの集積を念頭に置くと，InP等の半導体基板上に直接形成されることが望ましい．一方，半導体は高い屈折率をもつため，空間（Air等）との屈折率差に起因する強い光反射が懸念となる．そこで我々は，構造パターン全面での反射抑制のため，メタ原子の凸面と基板面の両方に反射防止層を備えた構成を提案する．今回，シミュレーションによりその効果を検証したので報告する．
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